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氯硅烷系列 
产品类别
  • 电子级甲硅烷
    (MS) SiH₄
    纯度
    6N（99.9999%）
  • 电子级三氯氢硅
    (TCS) SiHCl₃
    纯度
    6N（99.9999%）
  • 电子级二氯二氢硅
    (DCS) SiH₂Cl₂
    纯度
    6N（99.9999%）
  • 电子级四氯化硅
    (STC) SiCl₄
    纯度
    6N（99.9999%）
    9N（99.9999999%）

  • GB/T 15909-2017
    电子工业用气体 硅烷

  • GB/T 30652-2014
    硅外延用三氯氢硅

  • GB/T 38866-2020
    电子工业用二氯硅烷

  • CB/T 38867-2020
    电子工业用四氯化硅

    • 产品上线，敬请期待

    • 地址：浙江省海宁市尖山新区安江路38号

    电话：0573-8926-2352

    传真：0573-8926-2355

    邮箱：ia@indusair.cn / jzh@indusair.cn

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